产品介绍』: 光罩技术的GM****影像式测量仪系列,为七海**之**光罩技术制造而成,此技术已获美国、中国台湾及大陆等地区的发明和****。此类机种的精度几乎不受机械误差及阿贝误差影响,尤其是X、Y轴行程在600mm × 500mm以上的机型,无论是XY轴向精度,还是XY平面坐标精度皆能在5μ内,其**度比所有百万价值内的德国、日本或其它国外进口的机器更**。 『参数』: 重现性 < 0.002mm 台面大小 700*650mm 解析力标准 0.001mm 机台重量 750kg(包括机架) 平面精度 3.5+5L/1000µm 影像放大倍率 20x-120x 30x-225x 示值精度(X、Y) 3+5L/1000µm 光学放大倍率 0.65X-4.5X 工作行程(X/Y/Z) 600*500*200mm 1000*800*200mm CCD **彩色1/3英寸高解析480TV线 外形尺寸(WxDxH) 1250*808*1680mm 可选配置 无死角旋转灯 测量范围(X*Y*Z) 600*500*100mm 工作行程 811*1250*1680mm 影像摄取系统 sony芯片高解析彩色CCD 测量理论 晶元光罩**坐标系统 镜头 SEVEN OCEAN OPTICAL 自动变焦镜头 控制系统 全自动闭环控制系统,日本松下PANASONIC伺服闭环控制系统 工作台结构 00级花岗岩 仪器结构 00级花岗岩 电源 220V 50±5HZ 功率 1KV 温度范围 20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m 湿度 40%-70% 震动 < 30HZ 工作台承重 3-5KG均布 『较新技术:晶元光罩技术——多国发明**』: ◇ 纯软件工作平台 ◇ **特殊光学技术无阿贝误差 ◇ 非龙门式大型外架设计,动量降至较低,无刚性不足与运动迟滞之问题 ◇ 平面**坐标测量 ◇ 不需要光栅尺、不需要编码器